- Добавил: umkaS
- Дата: 17-03-2025, 13:57
- Комментариев: 0

Автор: А.П. Достанко, С.В. Бордусов, Д.А. Голосов и др. ; под ред. А.П. Достанко
Издательство: Беларуская навука
Год: 2018
Cтраниц: 272 с. : табл., граф., схем., ил.
Формат: pdf (ocr)
Размер: 18 мб
Язык: русский
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.