Название: Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Автор: А.П. Достанко, С.В. Бордусов, Д.А. Голосов и др. ; под ред. А.П. Достанко
Издательство: Беларуская навука
Год: 2018
Cтраниц: 272 с. : табл., граф., схем., ил.
Формат: pdf (ocr)
Размер: 18 мб
Язык: русский

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.