Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF Автор: Айнспрук Н. Браун Д. Издательство: Москва, МИР Год: 1987 Страниц: 471 Формат: PDF Размер: 70,0 МБ Язык: Русский
Книга ведущих специалистов из США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС. Это своеобразная энциклопедия по физики, химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно плазменных методов. Книга предназначена для специалистов в области физики и химии плазмы, технологии микроэлектроники, а также для студентов соответствующих специальностей. В книге рассмотрены вопросы напыления тонких пленок различных соединений. Достаточно подробно рассмотрены вопросы химического и плазмохимического осаждения тонких диэлектрических пленок, в том числе нитрида и оксида кремния. Описаны физические и химические процессы реактивного и ионного травления, особое внимание уделено технологическим аспектам процессов производства СБИС.
Название: Объемные интегральные схемы СВЧ Автор: Гвоздев В. И., Нефедов В. И. Издательство: Наука Год: 1985 Страниц: 130(256) Формат: DjVu, PDF Размер: 19,9 МБ Язык: русский
В книге дано систематическое изложение теории и применений объемных интегральных схем (ОИС) СВЧ. Показана логичность и закономерность перевода СВЧ модулей радиоэлектронной аппаратуры на ОИС, представляющие качественно новый этап развития радиоэлектроники. Основное внимание уделено описанию физических процессов, созданию удобных и наглядных эквивалентных схем, методам расчета матриц рассеяния базовых элементов ОИС, используемых в системах автоматизированного проектирования ОИС СВЧ.
Для научных работников и инженеров-проектировщиков СВЧ техники, радиофизиков, специалистов по вычислительной математике и электродинамике, а также аспирантов и студентов старших курсов радиофизических и радиотехнических специальностей.
Название: Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 Автор: Минайчев В.Е. Издательство: Высшая школа Год: 1989 ISBN: 5-06-000308-6 Страниц: 111 Формат: DjVu, PDF Размер: 10,3 МБ Язык: Русский
Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.
Название: Микроэлектронные электросистемы. Применение в радиоэлектронике Автор: Конев Ю.И. и др. Издательство: М.: Радио и связь Год: 1987 Страниц: 241 Формат: DjVu, PDF Размер: 15,6 МБ Язык: Русский
Описано использование достижений микроэлектроники для преобразования электрической энергии в электросистемах с целью уменьшения массы и объема устройств и систем, уменьшения тепловых потерь, увеличения ресурса работы. Изложены принципы построения систем вторичного электропитания, устройств управления электродвигателями, устройств бесконтактной коммутации и защиты. Приведены примеры реализации новых устройств и систем на их основе. Для инженерно-технических работников, специализирующихся в области разработок систем электропитания и электрооборудования.
Название: Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, функциональная микроэлектроника Автор: Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Издательство: Высшая школа Год: 1987 Страниц: 416 Формат: DjVu, PDF Размер: 16,5 МБ Язык: Русский
В книге рассмотрены особенности разработки, принципы расчета и проектирования различных классов ИМС и БИС, дан анализ элементной базы современной микроэлектроники и важнейших типов ИМС, приведена методика расчета надежности ИМС.
Название: Микроэлектроника Автор: Гаврилов С. Н., Никулин С. М. Издательство: Энергия Год: 1970 Страниц: 79 Формат: DjVu, PDF Размер: 10,6 МБ Язык: Русский
В брошюре рассказано об основных проблемах и методах интегральной микроэлектроники и перспективах ее развития. Брошюра рассчитана на широкий круг радиолюбителей.
Название: Микропроцессорный комплект БИС К1815 для цифровой обработки сигналов Автор: А. И. Белоус, О. В. Подрубный, В. М. Журба Издательство: Радио и связь Год: 1992 ISBN: 5-256-00461-1 Страниц: 255 Формат: DjVu, PDF Размер: 13,4 МБ Язык: русский
Приведено подробное описание комплекта микросхем К1815 для цифровой обработки сигналов. Описаны схемы включения микросхем, рассмотрены вопросы их применения. В настоящее время книга практического значения не имеет и интересна лишь в историческом плане. Кроме того могут быть полезны описание различных алгоритмов цифровой обработки и архитектуры микросхем.
Название: Микролитография Автор: Моро У. Издательство: Мир Год: 1990 ISBN: 5-03-001716-Х Страниц: 622 Формат: PDF Размер: 84,4 МБ Язык: Русский
Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.
Название: Материаловедение в микроэлектронике Автор: Палатник Л. С., Сорокин В. К. Издательство: Энергия Год: 1977 Серия: Электронное материаловедение Страниц: 142 (в книге — 280) Формат: DjVu, PDF Размер: 14,4 МБ Язык: русский
В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии в приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.
Название: Конструирование и технология микросхем Автор: под редакцией Коледова Л.А. Издательство: Высшая школа Год: 1984 ISBN: нет Страниц: 231 Формат: DjVu, PDF Размер: 12,4 МБ Язык: русский
Данное учебное пособие предназначено для самостоятельного изучения курса «Проектирование и конструирование интегральных микросхем» студентами специальностей, связанных с разработкой интегральных устройств твердотельной электроники и содержит основные разделы изучаемой дисциплины. В пособии рассматриваотся вопросы проектирования гибридных микросхем, полупроводниковых микросхем на биполярных и МДП-транзисторах, базовых матричных кристаллов, элементов постоянных запоминающих устроиств.
Разделы сайта
Авторизация
Реклама
