|
Название: Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
Автор: Минайчев В.Е.
Издательство: Высшая школа
Год: 1989
ISBN: 5-06-000308-6
Страниц: 111
Формат: DjVu, PDF
Размер: 10,3 МБ
Язык: Русский
Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.
|
Автор: In32s 23-10-2017, 08:25 | Напечатать
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
|
|
|
Разделы сайта
Авторизация
Реклама
Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 
