Название: Основы микроэлектроники
Автор: Ефимов И. Е., Козырь И. Я.
Издательство: Лань
Год: 2021
Cтраниц: 384
Формат: pdf
Размер: 39 мб
Язык: русский

В учебнике изложены основные направления развития микроэлектроники: рассмотрены физические основы, конструкция, технология, структурные элементы и аспекты проектирования интегральных микросхем (ИМС) и больших интегральных схем (БИС). Рассмотрены отдельные технологические процессы, схемотехнические решения, машинные методы проектирования и изготовления изделий микроэлектроники. Учебник предназначен для студентов технических вузов и университетов, изучающих микроэлектронику.