- Добавил: In32s
- Дата: 23-10-2017, 08:22
- Комментариев: 0

Название: Микролитография
Автор: Моро У.
Издательство: Мир
Год: 1990
ISBN: 5-03-001716-Х
Страниц: 622
Формат: PDF
Размер: 84,4 МБ
Язык: Русский
Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям.
В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии.
Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов.
Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.