- Добавил: M5662
- Дата: 25-04-2018, 08:02
- Комментариев: 0

Название: Электромеханические микроустройства
Автор: Мухуров Н.И., Ефремов Г.И.
Издательство: Беларуская Навука
Год: 2012
Страниц: 258
ISBN: 978-985-08-1419-7
Формат: PDF
Размер: 10 Мб
Язык: русский
Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения пленарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и других микроактюаторах.