- Добавил: M5662
- Дата: 2-02-2020, 18:29
- Комментариев: 0

Название: Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники
Автор(ы): Сигов А.С.(ред.)
Издательство: Юрайт
Год: 2019
Страниц: 369
Формат: PDF
Размер: 24 Мб
Язык: русский
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделение и др.