- Добавил: umkaS
- Дата: 4-06-2020, 15:25
- Комментариев: 0
Название: МОП-СБИС: Моделирование элементов и технологических процессов
Автор: Антонетти П.
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1988
Cтраниц: 496
Формат: pdf
Размер: 26 мб
Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем (ИС) и электрических характеристик их основных элементов - МОП-транзисторов. Рассмотрены модели диффузии, ионной имплантации, окисления, отжига, литографии, осаждения, травления и модели, описывающие функционирование МОП-транзисторов.
Автор: Антонетти П.
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1988
Cтраниц: 496
Формат: pdf
Размер: 26 мб
Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем (ИС) и электрических характеристик их основных элементов - МОП-транзисторов. Рассмотрены модели диффузии, ионной имплантации, окисления, отжига, литографии, осаждения, травления и модели, описывающие функционирование МОП-транзисторов.