- Добавил: umkaS
- Дата: 20-02-2021, 16:52
- Комментариев: 0

Автор: Акчурин Р. Х. , Мармалюк А. А.
Издательство: Техносфера
Год: 2018
Cтраниц: 488 с. : ил., схем.
Формат: pdf (ocr)
Размер: 25 мб
Язык: русский
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов.