Название: Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва
Автор: Червоний І.Ф. (ред.)
Издательство: Запоріжжя: ЗДІА
Год: 2009
ISBN: 978-966-8462-24-5
Формат: pdf
Страниц: 486
Размер: 102 Мб
Язык: Украинский

Викладено фізико-хімічні основи технології напівпровідникового кремнію, розглянуті властивості технологічних матеріалів, вплив структурної недосконалості і термічної обробки на електрофізичні та фізико-хімічні властивості кремнію. Описані процеси отримання кремнію, розглянуте устаткування для цього, зокрема вакуумне і криогенне.