Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники
Автор: Зебрев Г. И.
Издательство: Лаборатория знаний
Год: 2020 - 4-е изд.
Cтраниц: 243
Формат: pdf (ocr)
Размер: 13 мб
Язык: русский

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».