Название: Кремний - материал наноэлектроники
Автор: Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н.
Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Год издания: 2007
Страниц: 352
ISBN: 978-5-94836-101-7
Формат: DjVu
Размер: 6,6 Мб
Качество: хорошее
Язык: русский

Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.






Скачать с облака