 Название: Кремний - материал наноэлектроники
Автор: Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н.
Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Год издания: 2007
Страниц: 352
ISBN: 978-5-94836-101-7
Формат: DjVu
Размер: 6,6 Мб
Качество: хорошее
Язык: русский
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Предисловие
Введение
Глава 1. Физические принципы наноэлектроники
Глава 2. Кремниевая одноэлектроника
Глава 3. Оптические и фотоэлектрические свойства квантово-размерных структур Si—Ge
Глава 4. Методы получения самоорганизованных Si—Ge- наноструктур
Глава 5. Синтез проводящих и полупроводниковых соединений в кремнии
Глава 6. Формирование наноразмерных структур при ионном распылении поверхности полупроводников
Глава 7. Нанокристаллы кремния, получаемые разными способами
Глава 8. Квантовые точки из монокристаллического Si, сформированные ионной имплантацией в пленках SiO2
Глава 9. Перспективы кремниевой наноэлектроники
Заключение
Список принятых сокращений
|
Разделы сайта
Авторизация
Реклама
Кремний - материал наноэлектроники 
