Название: Нитрид кремния и материалы на его основе
Автор: Андриевский Р.А., Спивак И.И.
Издательство: М.: Металлургия
Год: 1984
Формат: pdf
Страниц: 138
Размер: 29,2 Mb
Язык: Русский

Рассмотрены структура, физические, физико-химические, механические и эксплуатационные свойства нитрида кремния и материалов на его основе. Охарактеризованы основные технологические приемы получения порошков и изделий из Si3N4, а также пленок, покрытий и монокристаллов.