Автор: Аброян И. А., Андронов А. Н., Титов А. И.
Название: Физические основы электронной и ионной технологии
Издательство: М:, Высшая школа
Год: 1984
Страниц: 320
Формат: DJVU, PDF
Размер: 10 МБ

В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.