|
Название: Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники
Автор: Джоветт Ч.Е.
Издательство: Москва: Металлургия
Год: 1980
Формат: pdf/djvu
Страниц: 112
Размер: 11 mb
Язык: русский
В книге изложены принципы создания микроэлектронных устройств на основе различных технологических процессов нанесения тонких и толстых пленок. Исходя из современной практики их изготовления, проведен сравнительный анализ особенностей технологии производства тонких и толстых пленок, тонкопленочных микроволновых устройств, рассмотрены возможности, которые открывает использование гибридных элементов толстопленочных схем; обсуждены вопросы металлургической совместимости материалов, из которых изготовлены эти элементы. Кроме того, описаны типы многослойных разводок и техника их получения, процессы формирования толстопленочных резистивных структур, а также ряд других вопросов.
Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства тонких и толстых пленок для микроэлектроники, разработки и производства гибридных интегральных микросхем, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.
|
Автор: igor_gin 8-12-2021, 08:42 | Напечатать
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
|
|
|
Разделы сайта
Авторизация
Реклама
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники 
