Название: Технология тонких пленок и покрытий
Автор: Маскаева Л.Н., Федорова Е.А., Марков В.Ф.
Издательство: Екатеринбург: Уральский федеральный университет
Год: 2019
Формат: pdf
Страниц: 236
Для сайта: litmy.ru
Размер: 11 mb
Язык: Русский

В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике.