Название: Физические основы микроэлектроники : учебник для студентов высших учебных заведений
Автор: Марголин В. И.
Издательство: Академия
Год издания: 2008
Страниц: 400
ISBN: 978-5-7695-4227-5
Формат: DjVu, PDF
Размер: 10,6 Мб
Язык: русский

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.