Название: Тонкие Пленки. Взаимная Диффузия и Реакции
Автор: Поут Дж., Ту К., Мейер Дж. (ред.)
Жанр или тематика: Физика твердого тела
Издательство: М.: Мир
Год: 1982
Формат: DjVu
Качество: Отсканированные страницы + слой распознанного текста
Страниц: 576
Размер: 10.1 MB
Язык: Русский

Коллективная монография (США и Нидерланды), посвященная явлениям переноса вещества в тонких пленках и процессам физико-химического
взаимодействия металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок.
Рассмотрен широкий круг вопросов: проблемы твердотельной микроэлектроники, металлофизика и металлохимия границ раздела, методы получения и исследования тонких пленок, явления на границах зерен, реакции и взаимопроникновения в слоистых структурах, электрические характеристики границ раздела, имплантационная металлургия.
Для научных работников (физиков, химиков) и инженеров, занимающихся физикой полупроводников, микроэлектроникой, созданием полупроводниковых приборов, катализом, коррозией.