- Добавил: LitMy
- Дата: 12-07-2017, 18:21
- Комментариев: 0

Автор: Н. А. Барканов и др.
Название: Основы микроэлектроники и технологии производства микросхем
Издательство: М:, Московский институт электронной техники
Год: 1971
Страниц: 298+354
Формат: DJVU
Размер: 27 МБ
Пособие состоит из двух частей (7 глав - в первой части, 5 -во второй). Первая часть посвящена рассмотрению функционально-узлового метода конструирования, микроминиатюризации, физическим основам, конструированию и технологии изготовления ИС на основе тонких, толстых и магнитных пленок. Во второй части описаны физические основы полупроводниковой электроники, технологии изготовления и проектирования полупроводниковых ИС, дана общая характеристика метода контроля и испытаний ИС, указаны пути дальнейшего развития микроэлектроники. Пособие рассчитано на студентов и аспирантов, специализирующихся по микроэлектронике, а также инженеров, работающих в данной области...