- Добавил: M5662
- Дата: 15-04-2019, 04:05
- Комментариев: 0

Название: Микроэлектромеханические системы
Автор(ы): Косых А.В., Лепетаев А.Н., Одинец А.И.
Издательство: Омск: ОмГТУ
Год: 2016
Страниц: 247
Формат: PDF
Размер: 10 Мб
Язык: русский
Приведены примеры использования в радиотехнических устройствах микроэлектромеханических систем (МЭМС) различного вида: коммутаторов, актюаторов, датчиков физических величин, гироскопов, акселерометров и других. Представлена классификация датчиков инерции: акселерометров, гироскопов. Приведены принципы работы и характеристики различных типов микроактюаторов и датчиков давления, а также технические характеристики МЭМС-генераторов компаний SiTime, Vectron Interna-tional, Discera.