- Добавил: umkaS
- Дата: 26-08-2021, 11:30
- Комментариев: 0
Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Автор: Брюэр Дж. Р. (ред.)
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1984
Cтраниц: 336
Формат: pdf
Размер: 17 мб
Язык: русский
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.
Автор: Брюэр Дж. Р. (ред.)
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1984
Cтраниц: 336
Формат: pdf
Размер: 17 мб
Язык: русский
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.