Автор: А.А.Сазонов, Р.В.Корнилов, Н. П. Кохан и др.;
Название: Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники
Издательство: М:, Радио и связь
Год: 1988
Страниц: 264
Формат: DJVU, PDF
Размер: 10 МБ

Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя. Для студентов вузов приборостроительных специальностей