Название: Основы микросенсорики
Автор: Родионов Ю.А.
Издательство: М.: Инфра-Инженерия
Год: 2019
Формат: pdf
Страниц: 289
Размер: 19 mb
Язык: Русский

Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника. атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий. обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков.