Название: Современные устройства и элементы наноэлектроники
Автор: Бунтов Е.А., Вохминцев А.С., Штанг Т.В.
Издательство: Екатеринбург: Уральский федеральный университет
Год: 2020
Формат: pdf
Страниц: 132
Размер: 11 mb
Язык: Русский

В пособии рассмотрены физические основы, а также основные типы современных и перспективных элементов наноэлектроники. Особое внимание уделено полевым транзисторам с индуцированным каналом (МОП), их масштабированию и побочным эффектам миниатюризации. Рассмотрены краткие теоретические сведения и задания для практических занятий по разделам, не нашедшим отражения в основной части пособия.
Настоящее пособие может быть использовано в учебных целях в вузах физического, приборостроительного и электротехнического профилей.