Название: Микроэлектромеханические системы
Автор(ы): Косых А.В., Лепетаев А.Н., Одинец А.И.
Издательство: Омск: ОмГТУ
Год: 2016
Страниц: 247
Формат: PDF
Размер: 10 Мб
Язык: русский

Приведены примеры использования в радиотехнических устройствах микроэлектромеханических систем (МЭМС) различного вида: коммутаторов, актюаторов, датчиков физических величин, гироскопов, акселерометров и других. Представлена классификация датчиков инерции: акселерометров, гироскопов. Приведены принципы работы и характеристики различных типов микроактюаторов и датчиков давления, а также технические характеристики МЭМС-генераторов компаний SiTime, Vectron Interna-tional, Discera.
Рассмотрены принципы работы и параметры МЭМС-резонаторов. Изложены особенности построения резонаторов и генераторов на основе МЭМС. Осуществлен расчет собственных мод колебаний МЭМС-резонатора в программе ANSYS.
Издание предназначено для студентов радиотехнических специальностей.