Название: Фото-, электроно- и рентгенорезисты
Автор: Ю. С. Боков
Издательство: Радио и связь
Год: 1982
Формат: PDF
Страниц: 136
Размер: 13.7 MB
Язык: Русский

Посвящена вопросам получения фото-, электроно- и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Рассмотрены свойства различных типов фото-, электроно- и рентгенорезистов и особенности их применения, а также перспективы дальнейшего развития техники защитных материалов.
Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники.