Название: Производство полупроводниковых приборов
Автор: Брук В.А., Гаршенин В.В., Курносов А.И.
Издательство: М.: Высшая школа
Год: 1973 - Изд. 3-е, перераб. и доп.
Cтраниц: 264
Формат: pdf
Размер: 13 мб
Язык: русский

В учебном пособии описаны основные типы полупроводниковых приборов и интегральных схем, принцип действия, производство, измерения и испытания. Приведены сведения о материалах, применяемых в полупроводниковом производстве, контроле их качества и требованиях к ним. Третье издание переработано и дополнено описанием новых технологических методов, используемых при производстве полупроводниковых приборов. Более полно рассмотрены прецизионная обработка полупроводниковых материалов, способы защиты поверхности р — n переходов нитридными и стеклянными пленками, технологические приемы изготовления фотошаблонов, корпусов и элементов интегральных схем. Книга предназначена в качестве учебника для подготовки рабочих полупроводникового производства.