Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Автор: Брюэр Дж. Р. (ред.)
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1984
Cтраниц: 336
Формат: pdf
Размер: 17 мб
Язык: русский

Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технической работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.