Название: Микроэлектроника №3 (май-июнь 2019)
Издательство: Наука
Страниц: 80
Формат: PDF
Качество: хорошее
Размер файла: 14,4 МБ
Язык: Русский

«Микроэлектроника» — Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях.