Название: Микроэлектроника №2 (март-апрель 2019)
Издательство: Наука
Страниц: 81
Формат: PDF
Качество: хорошее
Размер файла: 14,3 МБ
Язык: Русский

«Микроэлектроника» — Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях.